掃描電鏡檢測

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儀器名稱

型號

掃描電鏡（SEM）

Zeiss Ultra 55

主要技術(shù)參數(shù)

1、分辨率1.0 nm at 15 kV；1.7 nm at 1 kV；4.0 nm at 0.1 kV
2、加速電壓0.1-30kV
3、放大倍數(shù)12-900000
4、探測電流4pA-20nA
5、電子槍：熱場發(fā)射

應(yīng)用范圍

用于觀察樣品的表面形態(tài)、斷口形貌、磨損表面形貌、納米結(jié)構(gòu)材料形態(tài)、生物樣品形貌等；結(jié)構(gòu)分析、成分分析。廣泛用于材料學(xué)、機械學(xué)、微電子學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。

材料要求

金屬、薄膜、半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合、高分子、生物材料等均可，具有一定的導(dǎo)電性，或噴碳/金處理。

儀器名稱

型號

掃描電鏡（SEM）

JEOL JSM-6700F

主要技術(shù)指標(biāo)

1、分辨率1.0 nm at 15 kV；2.2 nm at 1 kV

2、放大倍數(shù)：低倍：×25-×19000

高倍：×100-×650000
3. eds分辨率: mnka小于136ev
4. eds 元素分析范圍：b5-u92

應(yīng)用范圍

無機材料、高分子材料、復(fù)合材料、納米材料、半導(dǎo)體等材料中，用于觀察樣品的表面形態(tài)、斷口形貌、磨損表面形貌、納米結(jié)構(gòu)材料形態(tài)、生物樣品形貌等；結(jié)構(gòu)分析、成分分析。廣泛用于材料學(xué)、機械學(xué)、微電子學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。

材料要求

金屬、薄膜、半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合、高分子、生物材料等均可，具有一定的導(dǎo)電性，或噴碳/金處理。