| 服務(wù)項(xiàng)目 | 瀏覽量8 | 發(fā)布時間2014-04-15 |
| 品牌武漢三工 | 所在地湖北 武漢 | 起訂≥1 臺 |
| 供貨總量未填 | 發(fā)貨0天內(nèi)發(fā)貨 | 有效期至2025-03-09 |
一、 激光調(diào)阻原理
激光調(diào)阻原理就是利用一束極細(xì)的激光束打在厚、薄膜電阻上，通過對電阻體氣化蒸發(fā)實(shí)現(xiàn)厚、薄膜電路的切割。激光束按計算機(jī)預(yù)定的程序切割厚、薄膜電阻，通過改變厚、薄膜電阻的幾何形狀從而改變電阻的阻值。隨著激光切割過程的進(jìn)行，同時實(shí)時測量電路實(shí)時***厚、薄膜電阻阻值的變化，厚、薄膜電阻的阻值不斷接近目標(biāo)阻值，當(dāng)厚、薄膜電阻達(dá)到目標(biāo)阻值后激光束關(guān)閉，即實(shí)現(xiàn)激光調(diào)阻過程。
1．激光器系統(tǒng)
l 激光波長：1064nm
l 激光平均功率：10W
l 典型光斑尺寸： 35μm
實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長
l 冷卻方式：風(fēng)冷
l 對焦方式：計算機(jī)程序控制
2．激光束定位系統(tǒng)
l 激光束運(yùn)動范圍：60mm X 60mm
l 重復(fù)定位精度：2μm
l 定位精度：±5μm
l 激光束最小步進(jìn)：0.76μm
3．圖像***系統(tǒng)
l ***方式：激光同軸***
l ***視場：4-6mm（對角線）
l 圖像***顯示屏：19寸液晶
4．測量系統(tǒng)
l 激勵方式：電流激勵
l 恒流源：0.01μA~100mA計算機(jī)程控選擇
l 電阻測量方式：四線制加電流測電壓（可選擇二線制）
l 直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
l 調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定
l 電阻測量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
l 電阻測量范圍： 0.01Ω-10MΩ
l 電阻測量速度：25μs
l 直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）
l 探針板：44針11通道四線制（可選其它規(guī)格）
l 探針板運(yùn)動：計算機(jī)程序控制
5．計算機(jī)及軟件系統(tǒng)
l 工業(yè)控制計算機(jī)（雙核），19寸液晶
l 操作系統(tǒng)：Windows XP
l VB平臺開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強(qiáng)大
6．分步重復(fù)機(jī)械運(yùn)動系統(tǒng)
l 運(yùn)動方式：空氣懸浮運(yùn)動，無摩擦力
l 運(yùn)動范圍：290mm*260mm
l 最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據(jù)要求定做）
l 運(yùn)動分辨率：1μm
l 重復(fù)精度：2μm
l 定位精度：±15μm
l 最大運(yùn)動速度：500mm/s
7．其它技術(shù)指標(biāo)
l 供電電壓：220V AC
l 整機(jī)功耗：1000W
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