詳細說明
加工對象 同步實現(xiàn)FIB加工和SEM（掃描電鏡）測量，具備納米加工-納米原型設(shè)計-D/D納米表征-納米分析能力,實現(xiàn)微/納米元件（如三維微/納結(jié)構(gòu)、微刀具、碳納米管器件等）的制備和性能檢測。 加工說明 聚焦離子束（FIB）加工
同步實現(xiàn)FIB加工和SEM（掃描電鏡）測量，具備納米加工-納米原型設(shè)計-D/D納米表征-納米分析（包括：維重構(gòu)、STEM分析、能譜分析等）能力,實現(xiàn)微/納米元件（如三維微/納結(jié)構(gòu)、微刀具、碳納米管器件等）的制備和性能檢測。
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